还留一口！ASML回应荷兰最新的出口管制-并不是所有的潜水羽绒都被覆盖

(原标题：还留一口！ASML对荷兰最新出口管制做出回应：并非所有水下杜瓦瓶都被覆盖)

财联社3月9日电(编辑潇湘)荷兰政府于当地时间3月8日发布了即将实施的半导体设备出口管制措施的进一步信息。这些新的出口管制措施侧重于控制先进的芯片制造技术，包括“最先进的”沉积设备和水下DUV系统。

这意味着荷兰将光刻机的出口管制范围从最先进的极紫外光刻机(EUV)扩大到了DUV(深紫外光刻机)。但由于DUV光刻机中浸没式光刻机的型号较多，荷兰政府公布后，这种“最先进”的沉积设备和浸没式DUV系统覆盖什么范围成为当今国内外芯片行业热议的焦点。

荷兰光刻机巨头ASML (ASML)的最新公告对此给出了答案。

ASML在最新公告中表示，由于荷兰政府即将出台的法规，ASML将需要申请出口许可证，才能运送最先进的水下DUV系统。然而，这些管制措施需要一段时间才能立法和生效。

关于最新出口管制措施所涵盖的设备，ASML解释说，应该强调的是，新的出口管制措施并不是针对所有的浸没式光刻系统，而只是所谓的“最先进的”浸没式DUV系统。

ASML表示，“虽然我们还没有得到‘最先进’的确切定义，但我们将其解读为资本市场日会议上定义的‘关键沉浸式光刻系统’——，即TWINSCANNXT:2000i以及之后推出的沉浸式光刻系统。”

还有一个口子。

根据ASML公司官网提供的信息，目前在售的主流淹没式DUV光刻机产品有三款，分别是：TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。

其中，2000i和2050i显然是ASML在其声明中所指的出口管制中的“先进”产品，而相对落后的TWINSCAN NXT:1980Di预计将被排除在出口管制措施之外。

那么TWINSCAN NXT:1980Di光刻机的功能是否能满足目前大量芯片公司的需求呢？

据ASML官网介绍，TWINSCAN NXT:1980Di的分辨率38nm，每小时至少可以生产275片晶圆。

在实际生产和使用中，TWINSCAN NXT:1980Di通过多次曝光仍然可以支持7nm左右的工艺生产。当然，与更先进的光刻机型号相比，先进技术生产的步骤会更复杂，成本会更高，可能会损失良率。

在使用1980Di光刻机模型时，全球晶圆厂大多生产14nm及以上工艺的芯片，很少生产14nm以下工艺的。但可以肯定的是，使用这款TWINSCAN NXT:1980Di光刻机，28nm和14nm的生产还是可以完全满足需求的。这表明已经采用NXT:1980Di进行成熟工艺制造的晶圆厂不会受到明显影响，但在先进技术方面可能难以完全满足需求。

ASML在公告中还表示，先进水平相对较低的浸没式光刻系统可以满足工艺成熟的客户的需求。

国内券商的一篇短评也验证了上述判断。东方证券认为，从光刻机进口中国10nm及更成熟工艺不受此限制。ASML表示，这一限制并非针对所有浸没式掩模对准器，而是仅针对最先进的工艺设备，即NXT 2000i和更先进的型号。NXT 2000i的最低工作工艺为7nm，而NXT 1980i等未被禁运的设备仍然可以支持低至10nm的芯片生产。换句话说，荷兰实际实施的禁运措施比美国去年10月发布的新芯片管制条例更加宽松。当时发布的新管制条例在美国禁止了14nm及以下的设备。

ASML指出，基于今天的公告、公司对荷兰政府许可政策的预期以及目前的市场形势，公司预计这些控制措施不会对我们公布的2023年财务前景和公司的长期前景产生重大影响。

荷兰新出口管制条例引起争议。

荷兰贸易部长Liesje Schreinemacher在本周给荷兰议会的一封信中宣布了荷兰政府的最新出口管制措施。根据这封信，这些控制措施将在今年夏天之前实施。

浸没式光刻机广泛应用于45nm以下的成熟工艺，全球只有ASML和尼康两家公司生产。ASML此前预测，2023年在中国的销售额将保持在22亿欧元左右。

早在今年1月底，就有媒体爆料称，美国已经与荷兰、日本达成协议，限制向中国出口部分先进的芯片制造设备。该协议将把美国10月份通过的一些出口管制扩大到这两个国家的企业。

对此，中国外交部发言人毛宁在1月31日的例行记者会上回应称，“我想再次强调，一些国家出于自身私利，不惜损人利己，恶意封杀打压中国企业，人为推动产业转移脱钩。欺凌行为严重破坏了市场规则和国际经贸秩序，不仅损害了中国企业的合法权益，也冲击了全球生产和供应链的稳定。我们希望各方坚持客观公正的立场，从自身长远利益和市场公平公正原则出发，自主决策。”

2月15日，中国半导体行业协会也郑重声明，美国、日本、荷兰限制相关芯片制造设备对华出口：中国半导体行业协会反对这种破坏现有全球半导体产业生态的行为。反对这种干扰全球贸易自由化、扭曲供求关系和平衡的行为。反对这种将中国半导体产业排除在全球产业体系和市场自由竞争之外的企图！

美国亿万富翁、微软创始人比尔盖茨在本月早些时候接受采访时表示，美国试图阻止中国开发芯片是徒劳的。美国只会“强迫”中国花时间和金钱制造自己的芯片，“美国永远无法成功阻止中国拥有强大的芯片”。